半导体无尘车间或洁净区只布置必要的工艺设备，以及有空气清洁度等级要求的工艺和洁净设备。半导体无尘车间工程工艺布车间设计综合考虑协调，布局合理紧凑。在满足生产工艺要求的前提下，空气洁净度高的半导体无尘车间洁净室或洁净区应靠近空调室，空气洁净度等级相同的工序和工作室应集中布置，空气洁净度等级低的工作室应靠近洁净区人口。草莓视频污在线无尘车间工程中空气清洁度高的工序应布置在上风侧，易污染的工艺设备应布置在靠近回风口的位置。应考虑大型设备安装维护的运输路线，并预留设备安装口和维修口。
半导体无尘车间工程周围的道路面层应选用完整性好、粉尘少的材料。应设置环形消防车道（可使用的交通道路）。如有困难，可沿工厂两个长边设置消防车道。无尘车间工程周围应进行绿化。草坪可以铺设，树木对大气粉尘浓度没有有害影响，形成绿色社区。但不得妨碍消防操作。
半导体无尘车间工程应远离码头、机场、交通要道、工厂、仓库、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域，排放大量粉尘和有害气体。如果不能远离严重的空气污染源，应位于其大频率风向上风侧或全年小频率风向下风侧；
半导体无尘车间工程应布置在环境清洁、人流、货流不交叉或少穿越的地区。半导体无尘车间工程与交通干道的距离不小于50米。对于具有微振动控制要求的半导体无尘车间工程的位置选择，应实际确定周围现有振动源的振动影响，并与准确的设备和准确的仪器进行分析和比较。当半导体无尘车间工程中高频风向上风侧有烟囱时，半导体无尘车间工程与烟囱的水平距离不得小于烟囱高度的12倍。
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